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投影光刻机被动式空气弹簧具有优良的离散系统

文章来源：上海盛煌注册减震器有限公司发布时间：2023-05-17 14:30

在使用时,注意吸入弹簧内部的空气的量是十分重要的。气浮减震器被发明之前，作业的工人手动控制按压弹簧的力度,以保证注入弹簧内部的气体适宜，从而使弹簧的承重力保持标准水平。为避免手动操作带来的安稳隐患，气浮减震器应运而生。

那样，被动式空气弹簧在有效行程内，被动式空气弹簧的高度、内壁容量、承载力伴随着震动载荷的增加与减少出现了稳定的软性传送、振幅与振动载荷有效操纵。也可以用增、减充气量的办法，调节弹簧的刚度和承载能力大小，还能够附属协助制动气室，完成自动控制调整。

被动式空气弹簧具有优良的离散系统硬特点，因此可以有效限定振幅，绕开共震，避免冲击性。被动式空气弹簧的隔振效率各个方面的共振频率能够设计方案得很低，乃至达1Hz下列，而塑胶隔振装置的自振频率一般为5－7Hz。

因此被动式空气弹簧的隔振效率相比其他隔振元器件高出很多，而且能防护低频振动。尤其是由于被动式空气弹簧隔振系统软件非常容易执行主动控制，作为一种具备可调式离散系统静、动态性弯曲刚度及阻尼特性的隔振元器件。